粤能许可〔2022〕309号

　　方正集成电路工业园项目采用的主要技术标准和建设方案符合国家相关节能法规及节能政策的要求，原则同意该项目节能报告。

　　项目主要建设内容包括：建设1条年产30万片8英寸碳化硅衬底器件生产线，主要建构筑物包括厂房、研发楼、动力站、乙类库、大宗气站、氢气棚、废水监测站、消防事故池等，主要设备包括沉积机、光刻机、刻蚀机、显影机、清洗机、外延炉、氧化炉、退火炉、燃气热水锅炉、空压机、冷水机组等。项目能耗量和主要能效指标：项目建成投产后，年综合能源消费量不高于35049吨标准煤（当量值），其中年电力消耗量不高于24937万千瓦时、天然气消耗量不高于383万立方米；项目单位产品电耗不高于3.26千瓦时/平方厘米。

　　本审查意见自印发之日起两年内，如项目未开工建设，自动失效。